特種工程塑料在半導體材料市場的應用案例

?近年來，面對持續(xù)的“芯片短缺”，

同時，疫情下眾多產(chǎn)業(yè)向數(shù)字化轉型，

下游汽車、電子、5G等多領域的旺盛需求，

使芯片需求不斷高漲，

半導體材料的需求也“水漲船高”，

行業(yè)生產(chǎn)迎來高難度挑戰(zhàn)，

看索爾維如何突破創(chuàng)新，迎“難”而上。

出于物理極限和制造成本的原因，先進工藝技術讓芯片的體積不斷突破想象，從5納米到3納米，甚至2納米時，有如半導體行業(yè)燈塔般的“摩爾定律”已然失效。

工業(yè)界已達成新的共識：在功耗、性能、面積和成本等方面達成的折衷，已經(jīng)難以為繼。

于是，一條不再是直線的IC技術發(fā)展路線，以及市場對創(chuàng)新解決方案的迫切需求，將封裝，尤其是先進封裝技術，推向了創(chuàng)新的最前沿。“先進封裝”的提出，是對技術的新要求，也是對封裝工藝中材料和設備的全新考驗。

半導體材料猶如支撐半導體產(chǎn)業(yè)鏈條中的重要“血脈”，是晶圓制造和封測環(huán)節(jié)中必不可少的產(chǎn)品。

晶圓的制造對于顆粒和金屬含量有非常高的純度要求。舉例來說，一片12寸晶圓上，10納米量級的顆粒不能超過3-4顆；5納米節(jié)點下，金屬含量不能超過28 PPB。顆粒和金屬含量對于整個晶圓和芯片來說，就如滄海一粟，如此高的要求，為半導體材料行業(yè)設置了一個非常高的門檻。

同時，半導體制造的過程中需要用到一些高純度化學品，這樣就對加工配件、管路輸送儲存的材料提出了耐腐蝕、耐化學品的超高要求。

半導體制造亟需最高純度和質(zhì)量的創(chuàng)新材料，滿足半導體生產(chǎn)的嚴苛要求，進一步提升器件能量利用效率，從而打造具有領先技術的下一代電子產(chǎn)品。

作為高性能聚合物研究、開發(fā)和制造領域的***, 索爾維高性能聚合物的產(chǎn)品設計致力于滿足時下半導體工藝最具挑戰(zhàn)的需求，可在生產(chǎn)線前端、生產(chǎn)線后端、測試和組裝方面實現(xiàn)**性能，助力制造商發(fā)揮芯片性能的極限。

在半導體制造的關鍵步驟之一—“化學機械研磨”工藝中，索爾維以創(chuàng)新材料不斷改進現(xiàn)代工藝，為結構組件、保持環(huán)、研磨墊、化學品輸送系統(tǒng)和漿料磨料提供優(yōu)越的機械性能、耐化學性和純度。

• KetaSpire? PEEK：

• 有效減少微劃痕并延長研磨設備的使用壽命

• 良好的加工性能。

• 有效降低微劃痕

• 極高的耐磨性

在干法蝕刻和干洗工藝中，索爾維的先進聚合物材料能夠承受溫度波動下的腐蝕性化學和等離子環(huán)境。

在濕法蝕刻中，半導體材料去除后的表面清潔至關重要。索爾維應用于O型圈、密封件、結構件和超純水管道系統(tǒng)的先進聚合物，不僅為半導體制造商提供高性能解決方案，而且這些聚合物還改進了濕法工藝設備、化學品輸送系統(tǒng)、過濾器、閥門、接頭等。

• Halar? ECTFE：

• 結合優(yōu)良的耐化學性，可以抵御化學品和溶劑的侵蝕

• 耐受溫度范圍廣

• 出色的耐磨性

• 良好的抗沖擊性

適用于濕法和干法工藝的各種關鍵密封應用

• 高純度

• 低金屬含量

• 耐用性

• 耐受高達340℃的溫度

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索爾維的專業(yè)解決方案讓制造商能夠生產(chǎn)清潔、可靠的晶圓處理部件，制造商通過這些部件，在整個制造過程中運輸并“守護”寶貴而脆弱的晶圓。

在半導體制造過程中，一般會使用非常多的強化學物質(zhì)，這些化學品需要得到安全管理。索爾維材料能夠為半導體工藝中的管道和其他設備提供**涂層性能，從而更好地管理強化學物質(zhì)的運輸和處理。

同時，半導體的清潔過程和控制過程需要大量的超純水，索爾維助力客戶制造超純管道、過濾器和管道系統(tǒng)。

• Solef? PVDF：

• 耐化學性，能抵抗腐蝕性強的化學物質(zhì)而不會降解

• 耐熱性

• 擁有平滑表面，可防止細菌和生物膜的生長

• 耐化學性

• 符合FM4922防火安全標準，安全

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索爾維不僅提供高性能材料產(chǎn)品，同時還提供了市場上一些最堅固、最耐用和最具成本效益的封裝材料，助力下游客戶制造尺寸和熱穩(wěn)定性以及出色的耐磨性、抗蠕變性和耐化學性的封裝部件。

此外，索爾維在半導體探測和測試領域也獨樹一幟，不斷突破創(chuàng)新，為制造商的探測系統(tǒng)提供了獨特的性能和耐用性等優(yōu)勢。憑借先進的尺寸穩(wěn)定性和對惡劣條件的耐受性，索爾維的特種聚合物解決方案也為半導體測試行業(yè)解決了各種復雜問題。

• Torlon? PAI：

適用于半導體制造和測試

• 在260℃溫度下依然能保持正常強度

• 耐磨性、耐化學性、耐高溫性

• 抗蠕變性

• 電絕緣性

• 耐磨性、耐高溫、耐化學性

• 抗疲勞性優(yōu)異

• 易于熔融加工

• 高純度

• 低離子析出、低排氣釋出

• 黑點問題極少

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導熱液和真空泵油作為兩種重要的材料，在半導體工藝流程各個環(huán)節(jié)內(nèi)都起到了重要的作用。索爾維Galden? HT PFPE和Fomblin? PFPE擁有惰性和耐化學性等一系列優(yōu)異的特性，能更好、更穩(wěn)定地進行導熱和潤滑協(xié)作。

• Galden? HT PFPE：

• 出色的熱穩(wěn)定性和化學穩(wěn)定性

• 良好的兼容性和導熱性

• 無閃點和燃點、無毒性、無自燃點

適用于真空泵潤滑油

• 強耐腐蝕性佳和高熱穩(wěn)定性

• 良好的潤滑性，可保持潤滑性至150℃（真空泵溫度至300℃）

• 與金屬、橡膠和塑料擁有優(yōu)異的兼容性

• 無閃點和燃點，無毒性