常州普威復(fù)合材料科技有限公司


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PFA/PVDF板棒在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用價(jià)值

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PFA（可溶性聚四氟乙烯）板棒因其優(yōu)異的化學(xué)穩(wěn)定性、高純度和耐極端環(huán)境特性，已成為半導(dǎo)體制造中不可或缺的功能性材料，主要應(yīng)用于以下環(huán)節(jié)：

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一、

濕法工藝設(shè)備組件
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蝕刻/清洗花籃與支架?：PFA板棒制成吊籃、卡夾等承載工具，在氫氟酸、硝酸混合液（25℃–130℃）中穩(wěn)定固定晶圓，避免金屬污染同時(shí)承受強(qiáng)腐蝕介質(zhì)。

管道與閥門：高純度PFA制成的流體輸送系統(tǒng)能防止顆粒析出，滿足SEMI F57標(biāo)準(zhǔn)對(duì)超純水系統(tǒng)的潔凈度要求。

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二、

晶圓承載與固定

PFA晶圓支架.jpg

載具與夾具：PFA板棒加工的晶圓支架可在高溫（-200℃至260℃）環(huán)境下保持尺寸穩(wěn)定性，避免熱變形導(dǎo)致的微影對(duì)準(zhǔn)偏差。

真空吸盤墊片：其低釋氣特性（總質(zhì)量損失TML<0.1%）符合高真空光刻機(jī)需求。

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三、

特殊環(huán)境防護(hù)

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CMP（化學(xué)機(jī)械拋光）設(shè)備：PFA擋板可阻隔拋光液飛濺，延長(zhǎng)設(shè)備壽命。

反應(yīng)腔室內(nèi)襯：PFA板棒加工的內(nèi)襯可耐受200℃高溫下的Cl?/Ar等離子體持續(xù)沖刷，且能承受每日20次以上的冷熱循環(huán)沖擊，有效減少顆粒釋放和電弧放電風(fēng)險(xiǎn)。

綜上所述，PFA板棒憑借其**的耐腐蝕性、高純度和熱穩(wěn)定性，在半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)中發(fā)揮著不可替代的作用。隨著半導(dǎo)體工藝向更精細(xì)制程發(fā)展，PFA材料的性能優(yōu)化將持續(xù)推動(dòng)行業(yè)技術(shù)進(jìn)步，為晶圓生產(chǎn)的可靠性與良率提升提供堅(jiān)實(shí)保障。未來，PFA板棒在新型工藝設(shè)備與綠色制造中的應(yīng)用潛力值得進(jìn)一步探索。